Análizadores de Alturas y Valvula de Espesores Semiconductora

Micro Precision utiliza tecnología de punta para realizar análisis de altitud medida y valvula de espesores semiconductora.

Mediante la incorporación de metodologías acreditadas de perfiles de superficies y elipsometría. Nuestro laboratorio en richardson, TX está acreditado por ANAB para realizar mediciones acreditadas por ISO/IEC 17025-2017.

Análisis de altitud medida y valvula de espesores son componentes críticos utilizados en la industria de los semiconductores.

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¿Qué es un elipsómetro?

El elipsómetro espectroscópico de ángulo variable VASE® presenta una selección de longitud de onda y ángulo de incidencia controlados por computadora. Una lámpara de Xenón suministra luz desde el ultravioleta (UV) al infrarrojo cercano (NIR). Las longitudes de onda individuales se seleccionan con un monocromador de doble cámara. Se utiliza un detector de SI / InGaAs apilado de 193 nm a 1700 nm. El desarrollo reciente de un detector de arseniuro de indio y galio (InGaAs) extendido permite la medición a 2500 nm. El VASE® utiliza una configuración de elipsómetro analizador giratorio (RAE) con la adición de un auto retardador patentado por JJ Woolam

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Capacidades Acreditadas de Analizadores de Alturas

Realizamos servicios a palpadores y estándares de superficie plana:

Los palpadores de pluma son herramientas de medición versátiles para el estudio de la topografía de superficies. El palpador se basa en una aguja metálica de diámetro pequeño con una punta de material compuesto o de diamante que escanea la superficie de la muestra. Durante el escaneo, el palpador óptico hace contacto directo con la superficie para obtener datos con una precisión y repetibilidad muy altas. El palpador recorre linealmente la superficie para obtener medidas del perfil de planicidad. A medida que detecta las características de la superficie, el palpador se mueve verticalmente para medir las distintas características.

Se han desarrollado nuevos avances en la tecnología de palpadores para analizar relieves. Incluyen un sensor de baja inercia para una repetibilidad incomparable de la altura de los grosores. La incorporación de mejoras en los programas y funciones de nivelación de la plataforma garantizan una medición precisa y uniforme con una incertidumbre mínima.

Calibración analizadores de altura:

La capacidad de medición se configura con el uso de un sistema de perfil de superficie, que junto con los estándares trazables y referenciados por NIST se utilizan para medir el perfil de altura de escalón general.

Dektak 3®

Perfilador de superficie con etapa de vacío de muestra de 6.5 ″, traducción de muestra XY de 3 ″ x6 ″, etapa manual, resolución vertical de 1A, rango vertical máximo de 131um, longitud de escaneo de 50um a 50 mm, máximo 8,000 puntos por escaneo, rango de fuerza de lápiz programable de 1 mg-40 mg.

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Capacidades de altura de escalón y obleas semiconductoras

Por medio de la casa acreditadora ANAB ante la norma ISO/IEC 17025-2017 contamos con la Acreditación para realizar calibraciónes a:

  • Valvulas Estándar de Espesores Semiconductores
  • Analizadores de Alturas.
Parámetro / Equipo Rango Incertidumbre de medición ampliada (+/-) Acreditado (ISO / IEC 17025, Z540.3)
Espesor de la oblea (3,0 a 1500) nm 0,32 nm Elipsómetro y obleas estándar
Estándares de altura de escalones de precisión (100 a 1000) A (& gt; 1 a 250) kA 17A Surface Profiler y paso estándar

Otras capacidades

Micro Precision puede realizar servicios de calibración de instrumentos en equipos de una variedad de aplicaciones para industrias y líneas de negocio específicas. Si tiene una necesidad de calibración que no figura en esta área, comuníquese con nosotros.

Patrones o Estándares del Laboratorio

Los estándares de laboratorio de calibración son fundamentales y criticos para las mediciones más precisas de su organización.

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Óptico

Servicios de laboratorio de calibración de fibra óptica, luz y óptica acreditados por Micro Precision.

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Químico

Servicios de laboratorio de calibración química y termodinámica acreditados por Micro Precision con capacidades de temperatura, humedad, ciencias biológicas y farmacéuticas.

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RF - Microondas

Servicios de laboratorio de calibración de microondas y RF acreditados por Micro Precision.

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Eléctrico

Servicios de laboratorio de calibración eléctrica acreditados por Micro Precision con capacidades de multímetro, calibrador multifunción, osciloscopio y fuente de alimentación.

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Mecánico y Dimensional

Servicios de laboratorio de calibración mecánica y dimensional acreditados por Micro Precision con capacidades de presión, torque, fuerza, flujo, velocidad y carga de gato de aeronave.

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Todas las necesidades de calibración de su equipo de prueba en un solo lugar.