测针轮廓仪和表面标准：

触笔轮廓仪是用于研究表面形貌的多功能测量工具。 轮廓仪依靠带有金刚石或复合材料尖端的小直径金属触笔扫描样品表面。 在扫描过程中，触笔直接接触表面以获得高精度和可重复性的数据。 触针轮廓仪阶段在触针下方线性移动样品以获得表面轮廓的测量值。 当它遇到表面特征时，手写笔会垂直移动以测量各种特征。

为缩小几何形状开发了测针轮廓仪技术的新进展。 它们包括一个低惯性传感器，可实现无与伦比的步高重复性。 软件增强和程序调平功能的结合确保了一致的准确测量和最小的不确定性。

精密步高校准：

测量能力是通过使用表面轮廓系统来建立的，该系统与 NIST 参考和可追溯标准相结合，用于测量整体台阶高度轮廓。

Dektak 3®

具有 6.5″ 样品真空台、3″x6″ XY 样品平移、手动台、1A 垂直分辨率、131um 最大垂直范围、50um 至 50mm 扫描长度、每次扫描最多 8,000 个点、1mg-40mg 可编程测针力范围的表面轮廓仪。