触笔轮廓仪和表面标准：

触针轮廓仪是用于研究表面形貌的多功能测量工具。轮廓仪依靠带有金刚石或复合材料尖端的小直径金属触针扫描样品表面。在扫描过程中，触控笔与表面直接接触，以获得具有非常高的精度和可重复性的数据。触针轮廓仪台在触针下方线性移动样品以获得表面轮廓的测量值。当它遇到表面特征时，触控笔会垂直移动以测量各种特征。

针式轮廓仪技术的新进展已开发用于缩小几何形状。它们包括一个低惯量传感器，可实现无与伦比的台阶高度可重复性。软件增强和程序调平功能的结合确保以最小的不确定性进行一致的准确测量。

精密台阶高度校准：

测量能力是通过使用表面轮廓系统建立的，该系统与 NIST 参考和可追溯标准一起用于测量整体台阶高度轮廓。

Dektak 3®

具有 6.5″ 样品真空载物台、3″x6″ XY 样品平移、手动载物台、1A 垂直分辨率、131um 最大垂直范围、50um 至 50mm 扫描长度、每次扫描最多 8,000 个点、1mg-40mg 可编程笔力范围的表面轮廓仪。