การวิเคราะห์ความหนาของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์และความสูงของขั้นตอนที่แม่นยำ
Micro Precision ใช้เทคโนโลยีล้ำสมัยในการวิเคราะห์ความหนาของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์และความสูงของขั้นตอนโดยผสมผสานวิธีการวัดวงรีที่ได้รับการรับรองและวิธีการทำโปรไฟล์ ห้องปฏิบัติการของเราในริชาร์ดสัน รัฐเท็กซัส ได้รับการรับรองโดย ANAB เพื่อทำการวัดที่ได้รับการรับรอง ISO/IEC 17025-2017
การวิเคราะห์ความหนาของเวเฟอร์และความสูงของขั้นเป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
ellipsometer คืออะไร?
เครื่องวัดระยะไข่แบบสเปกโตรสโกปีแบบปรับมุมได้ VASE® นำเสนอความยาวคลื่นที่ควบคุมด้วยคอมพิวเตอร์และมุมของการเลือกอุบัติการณ์ หลอดไฟซีนอนให้แสงจากรังสีอัลตราไวโอเลต (UV) ไปยังอินฟราเรดใกล้ (NIR) ความยาวคลื่นแต่ละช่วงจะถูกเลือกด้วยโมโนโครเมเตอร์แบบสองห้อง เครื่องตรวจจับ Si/InGaAs แบบซ้อนใช้ตั้งแต่ 193 นาโนเมตร ถึง 1700 นาโนเมตร การพัฒนาล่าสุดของเครื่องตรวจจับ InGaAs แบบขยายช่วยให้สามารถวัดได้ถึง 2500 นาโนเมตร VASE® ใช้การกำหนดค่าเครื่องวัดระยะวงรีของเครื่องวิเคราะห์การหมุน (RAE) ด้วยการเพิ่ม AutoRetarder™ ที่จดสิทธิบัตรของ JJ Woolam
การกำหนดวงรี:
Ellipsometry คือการใช้แสงโพลาไรซ์เพื่อกำหนดลักษณะฟิล์มบางและวัสดุจำนวนมาก การเปลี่ยนแปลงของโพลาไรซ์จะถูกวัดหลังจากสะท้อนแสงจากพื้นผิว ความหนาของฟิล์มบาง (t) และค่าคงที่ทางแสง (n, k) มาจากการวัด
ข้อมูลได้มาจากแต่ละชั้นที่มีปฏิสัมพันธ์กับการวัด แสงที่ย้อนกลับมาจากส่วนต่อประสานระหว่างพื้นผิวของฟิล์มและพื้นผิวจะรบกวนการสะท้อนของพื้นผิวเพื่อให้ข้อมูลชั้น
ความสามารถในการวิเคราะห์ความสูงของขั้นตอนที่ได้รับการรับรอง
โปรไฟล์สไตลัสและมาตรฐานพื้นผิว:
เครื่องมือสร้างโปรไฟล์สไตลัสเป็นเครื่องมือวัดอเนกประสงค์สำหรับการศึกษาภูมิประเทศพื้นผิว เครื่องมือสร้างโพรไฟล์ใช้สไตลัสโลหะขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางขนาดเล็กที่มีปลายเพชรหรือวัสดุคอมโพสิตที่สแกนพื้นผิวของตัวอย่าง ระหว่างการสแกน สไตลัสจะสัมผัสโดยตรงกับพื้นผิวเพื่อให้ได้ข้อมูลที่มีความแม่นยำและความสามารถในการทำซ้ำที่สูงมาก แท่นสร้างโพรไฟล์ของสไตลัสจะเคลื่อนตัวอย่างเป็นเส้นตรงภายใต้สไตลัสเพื่อให้ได้การวัดโปรไฟล์พื้นผิว เมื่อสัมผัสกับคุณสมบัติพื้นผิว สไตลัสจะเคลื่อนที่ในแนวตั้งเพื่อวัดคุณสมบัติต่างๆ
ความก้าวหน้าครั้งใหม่ในเทคโนโลยี stylus profiler ได้รับการพัฒนาสำหรับการย่อขนาดรูปทรง ประกอบด้วยเซ็นเซอร์ความเฉื่อยต่ำสำหรับการทำซ้ำความสูงของขั้นตอนที่ไม่มีใครเทียบ การผสมผสานของการปรับปรุงซอฟต์แวร์และฟังก์ชันการปรับระดับโปรแกรมช่วยให้มั่นใจถึงการวัดที่แม่นยำอย่างสม่ำเสมอและมีความไม่แน่นอนน้อยที่สุด
การสอบเทียบความสูงของขั้นตอนที่แม่นยำ:
ความสามารถในการวัดได้รับการตั้งค่าโดยใช้ระบบโปรไฟล์พื้นผิว ซึ่งใช้ร่วมกับมาตรฐานอ้างอิง NIST และตรวจสอบย้อนกลับได้ เพื่อวัดโปรไฟล์ความสูงของขั้นบันไดโดยรวม
Dektak 3®
ตัวสร้างโปรไฟล์พื้นผิวพร้อมสเตจสุญญากาศตัวอย่าง 6.5″, การแปลตัวอย่าง XY ขนาด 3″x6″, สเตจแบบแมนนวล, ความละเอียดแนวตั้ง 1A, ช่วงแนวตั้งสูงสุด 131um, ความยาวการสแกน 50um ถึง 50 มม., สูงสุด 8,000 จุดต่อการสแกน, ช่วงแรงสไตลัสที่ตั้งโปรแกรมได้ 1 มก.-40 มก.
ความสามารถของเซมิคอนดักเตอร์เวเฟอร์และความสูงของขั้น
ANAB ได้รับการรับรองมาตรฐาน ISO/IEC 17025-2017 ความสามารถที่ผ่านการรับรอง:
- มาตรฐานความหนาของแผ่นเซมิคอนดักเตอร์
- เซมิคอนดักเตอร์พรีซิชั่นสเต็ปสูง
| พารามิเตอร์ / อุปกรณ์ | ช่วง | ความไม่แน่นอนของการวัดที่เพิ่มขึ้น (+/-) | ได้รับการรับรอง (ISO/IEC 17025, Z540.3) |
|---|---|---|---|
| ความหนาของเวเฟอร์ | (3.0 ถึง 1500)nm | 0.32nm | เครื่องวัดวงรีและเวเฟอร์มาตรฐาน |
| มาตรฐานความสูงของขั้นบันไดที่แม่นยำ | (100 ถึง 1000)A (>1 ถึง 250)kA | 17A | ตัวสร้างโปรไฟล์พื้นผิวและขั้นตอนมาตรฐาน |
ความสามารถอื่นๆ
Micro Precision สามารถให้บริการสอบเทียบเครื่องมือบนอุปกรณ์จากการใช้งานที่หลากหลายสำหรับอุตสาหกรรมและสายธุรกิจ หากคุณมีความต้องการสอบเทียบที่ไม่ได้ระบุไว้ในพื้นที่นี้ โปรดติดต่อเรา
มาตรฐานห้องปฏิบัติการ
มาตรฐานห้องปฏิบัติการสอบเทียบมีความสำคัญต่อการตรวจวัดที่แม่นยำที่สุดในองค์กรของคุณ
ออปติคอล
บริการห้องปฏิบัติการสอบเทียบออปติคัล แสง และไฟเบอร์ออปติกที่ได้รับการรับรองจาก Micro Precision
สารเคมี
เทอร์โมไดนามิกที่ได้รับการรับรอง Micro Precision & บริการห้องปฏิบัติการสอบเทียบเคมีที่มีความสามารถด้านอุณหภูมิ ความชื้น ชีววิทยาศาสตร์ และเภสัช
RF - ไมโครเวฟ
บริการห้องปฏิบัติการสอบเทียบคลื่นความถี่วิทยุและไมโครเวฟที่ได้รับการรับรองจาก Micro Precision
ไฟฟ้า
บริการห้องปฏิบัติการสอบเทียบทางไฟฟ้าที่ได้รับการรับรองจาก Micro Precision พร้อมด้วยมัลติมิเตอร์ เครื่องสอบเทียบมัลติฟังก์ชั่น ออสซิลโลสโคป และความสามารถในการจ่ายไฟ
เครื่องกลและมิติ
บริการห้องปฏิบัติการสอบเทียบทางกลและมิติที่ได้รับการรับรองโดย Micro Precision พร้อมความสามารถในการรับแรงกด แรงบิด แรง การไหล ความเร็ว และความสามารถในการรับน้ำหนักของแม่แรงอากาศยาน
Request A Quote
All of your test equipment calibration needs in one place.
