โปรไฟล์สไตลัสและมาตรฐานพื้นผิว:

เครื่องมือสร้างโปรไฟล์สไตลัสเป็นเครื่องมือวัดอเนกประสงค์สำหรับการศึกษาภูมิประเทศพื้นผิว เครื่องมือสร้างโพรไฟล์ใช้สไตลัสโลหะขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางขนาดเล็กที่มีปลายเพชรหรือวัสดุคอมโพสิตที่สแกนพื้นผิวของตัวอย่าง ระหว่างการสแกน สไตลัสจะสัมผัสโดยตรงกับพื้นผิวเพื่อให้ได้ข้อมูลที่มีความแม่นยำและความสามารถในการทำซ้ำที่สูงมาก แท่นสร้างโพรไฟล์ของสไตลัสจะเคลื่อนตัวอย่างเป็นเส้นตรงภายใต้สไตลัสเพื่อให้ได้การวัดโปรไฟล์พื้นผิว เมื่อสัมผัสกับคุณสมบัติพื้นผิว สไตลัสจะเคลื่อนที่ในแนวตั้งเพื่อวัดคุณสมบัติต่างๆ

ความก้าวหน้าครั้งใหม่ในเทคโนโลยี stylus profiler ได้รับการพัฒนาสำหรับการย่อขนาดรูปทรง ประกอบด้วยเซ็นเซอร์ความเฉื่อยต่ำสำหรับการทำซ้ำความสูงของขั้นตอนที่ไม่มีใครเทียบ การผสมผสานของการปรับปรุงซอฟต์แวร์และฟังก์ชันการปรับระดับโปรแกรมช่วยให้มั่นใจถึงการวัดที่แม่นยำอย่างสม่ำเสมอและมีความไม่แน่นอนน้อยที่สุด

การสอบเทียบความสูงของขั้นตอนที่แม่นยำ:

ความสามารถในการวัดได้รับการตั้งค่าโดยใช้ระบบโปรไฟล์พื้นผิว ซึ่งใช้ร่วมกับมาตรฐานอ้างอิง NIST และตรวจสอบย้อนกลับได้ เพื่อวัดโปรไฟล์ความสูงของขั้นบันไดโดยรวม

Dektak 3®

ตัวสร้างโปรไฟล์พื้นผิวพร้อมสเตจสุญญากาศตัวอย่าง 6.5″, การแปลตัวอย่าง XY ขนาด 3″x6″, สเตจแบบแมนนวล, ความละเอียดแนวตั้ง 1A, ช่วงแนวตั้งสูงสุด 131um, ความยาวการสแกน 50um ถึง 50 มม., สูงสุด 8,000 จุดต่อการสแกน, ช่วงแรงสไตลัสที่ตั้งโปรแกรมได้ 1 มก.-40 มก.