การวิเคราะห์ความหนาเวเฟอร์ของเซมิคอนดักเตอร์และความสูงของขั้นตอนที่แม่นยำ
Micro Precision ใช้เทคโนโลยีล้ำสมัยในการวิเคราะห์ความหนาของแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์และความสูงของขั้นโดยผสมผสานการวัดวงรีที่ได้รับการรับรองและวิธีการทำโปรไฟล์พื้นผิว ห้องปฏิบัติการของเราในเมืองริชาร์ดสัน รัฐเท็กซัส ได้รับการรับรองโดย ANAB เพื่อทำการตรวจวัด ISO/IEC 17025-2017
การวิเคราะห์ความหนาของแผ่นเวเฟอร์และความสูงของขั้นเป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
เครื่องวัดจุดไข่ปลาคืออะไร?
เครื่องวัดจุดไข่ปลาสเปกโทรสโกปีแบบปรับมุมแปรผัน VASE® นำเสนอความยาวคลื่นและมุมของการเลือกตกกระทบที่ควบคุมด้วยคอมพิวเตอร์ หลอดไฟซีนอนจ่ายแสงจากอัลตราไวโอเลต (UV) ไปยังอินฟราเรดใกล้ (NIR) ความยาวคลื่นแต่ละช่วงจะถูกเลือกด้วยโมโนโครมาเตอร์แบบห้องคู่ มีการใช้เครื่องตรวจจับ Si/InGaAs แบบซ้อนตั้งแต่ 193 นาโนเมตรถึง 1700 นาโนเมตร การพัฒนาล่าสุดของเครื่องตรวจจับ InGaAs แบบขยายทำให้สามารถตรวจวัดได้ถึง 2,500 นาโนเมตร VASE® ใช้การกำหนดค่าเครื่องวัดจุดไข่ปลาแบบหมุน (RAE) พร้อมด้วย AutoRetarder™ ที่ได้รับการจดสิทธิบัตรของ JJ Woolam
การกำหนด Ellipsometry:
Ellipsometry คือการใช้แสงโพลาไรซ์เพื่อระบุลักษณะของฟิล์มบางและวัสดุจำนวนมาก การเปลี่ยนแปลงของโพลาไรซ์จะวัดหลังจากการสะท้อนแสงจากพื้นผิว ความหนาของฟิล์มบาง (t) และค่าคงที่เชิงแสง (n, k) ได้มาจากการวัด
ข้อมูลได้มาจากแต่ละชั้นที่โต้ตอบกับการวัด แสงที่ส่งกลับจากส่วนต่อประสานของฟิล์มกับพื้นผิวจะรบกวนการสะท้อนของพื้นผิวเพื่อให้ข้อมูลเลเยอร์
ความสามารถในการวิเคราะห์ความสูงของขั้นที่ได้รับการรับรอง
Stylus profilers และมาตรฐานพื้นผิว:
Stylus Profilers เป็นเครื่องมือวัดอเนกประสงค์สำหรับการศึกษาภูมิประเทศของพื้นผิว Profiler อาศัยสไตลัสโลหะเส้นผ่านศูนย์กลางขนาดเล็กที่มีหัวเพชรหรือวัสดุคอมโพสิตที่สแกนพื้นผิวของตัวอย่าง ในระหว่างการสแกน สไตลัสจะสัมผัสโดยตรงกับพื้นผิวเพื่อให้ได้ข้อมูลที่มีความแม่นยำสูงและสามารถทำซ้ำได้ ขั้นตอนการสร้างโปรไฟล์สไตลัสจะย้ายตัวอย่างเป็นเส้นตรงใต้สไตลัสเพื่อรับการวัดโปรไฟล์พื้นผิว เมื่อพบกับลักษณะพื้นผิว สไตลัสจะเคลื่อนที่ในแนวตั้งเพื่อวัดคุณสมบัติต่างๆ
ความก้าวหน้าใหม่ในเทคโนโลยี stylus profiler ได้รับการพัฒนาขึ้นเพื่อลดรูปทรงเรขาคณิต รวมถึงเซ็นเซอร์ความเฉื่อยต่ำสำหรับการทำซ้ำความสูงของขั้นตอนที่ไม่มีใครเทียบได้ การรวมการปรับปรุงซอฟต์แวร์และฟังก์ชันการปรับระดับโปรแกรมช่วยให้มั่นใจได้ถึงการวัดที่แม่นยำสม่ำเสมอโดยมีความไม่แน่นอนน้อยที่สุด
Stylus profilers และมาตรฐานพื้นผิว:
Stylus Profilers เป็นเครื่องมือวัดอเนกประสงค์สำหรับการศึกษาภูมิประเทศของพื้นผิว Profiler อาศัยสไตลัสโลหะเส้นผ่านศูนย์กลางขนาดเล็กที่มีหัวเพชรหรือวัสดุคอมโพสิตที่สแกนพื้นผิวของตัวอย่าง ในระหว่างการสแกน สไตลัสจะสัมผัสโดยตรงกับพื้นผิวเพื่อให้ได้ข้อมูลที่มีความแม่นยำสูงและสามารถทำซ้ำได้ ขั้นตอนการสร้างโปรไฟล์สไตลัสจะย้ายตัวอย่างเป็นเส้นตรงใต้สไตลัสเพื่อรับการวัดโปรไฟล์พื้นผิว เมื่อพบกับลักษณะพื้นผิว สไตลัสจะเคลื่อนที่ในแนวตั้งเพื่อวัดคุณสมบัติต่างๆ
ความก้าวหน้าใหม่ในเทคโนโลยี stylus profiler ได้รับการพัฒนาขึ้นเพื่อลดรูปทรงเรขาคณิต รวมถึงเซ็นเซอร์ความเฉื่อยต่ำสำหรับการทำซ้ำความสูงของขั้นตอนที่ไม่มีใครเทียบได้ การรวมการปรับปรุงซอฟต์แวร์และฟังก์ชันการปรับระดับโปรแกรมช่วยให้มั่นใจได้ถึงการวัดที่แม่นยำสม่ำเสมอโดยมีความไม่แน่นอนน้อยที่สุด
Dektak 3®
Surface Profiler พร้อมระยะสุญญากาศตัวอย่าง 6.5″, การแปลตัวอย่าง XY ขนาด 3″x6″, แท่นตั้งเอง, ความละเอียดแนวตั้ง 1A, ช่วงแนวตั้งสูงสุด 131um, ความยาวสแกน 50um ถึง 50 มม., สูงสุด 8,000 จุดต่อการสแกน, ช่วงแรงสไตลัสที่ตั้งโปรแกรมได้ 1 มก.-40 มก.
เซมิคอนดักเตอร์เวเฟอร์ & ความสามารถความสูงขั้นบันได
ANAB ได้รับการรับรอง ISO/IEC 17025-2017 ความสามารถที่ได้รับการรับรอง:
- มาตรฐานความหนาเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำ
- ความสูงของขั้นตอนความแม่นยำของสารกึ่งตัวนำ
| พารามิเตอร์ / อุปกรณ์ | ช่วง | ความไม่แน่นอนที่เพิ่มขึ้นของการวัด (+/-) | ได้รับการรับรอง (ISO/IEC 17025, Z540.3) |
|---|---|---|---|
| ความหนาของเวเฟอร์ | (3.0 ถึง 1500)นาโนเมตร | 0.32nm | เครื่องวัดจุดไข่ปลาและเวเฟอร์มาตรฐาน |
| มาตรฐานความสูงของขั้นบันไดที่แม่นยำ | (100 ถึง 1,000)A (>1 ถึง 250)kA | 17A | Surface Profiler และ Standard Step |
ความสามารถอื่น ๆ
Micro Precision สามารถให้บริการสอบเทียบเครื่องมือบนอุปกรณ์จากการใช้งานที่หลากหลายสำหรับอุตสาหกรรมและสายธุรกิจเฉพาะ หากคุณต้องการสอบเทียบที่ไม่ได้ระบุไว้ในส่วนนี้ โปรดติดต่อเรา
มาตรฐานห้องปฏิบัติการ
มาตรฐานห้องปฏิบัติการสอบเทียบมีความสำคัญต่อการวัดที่แม่นยำที่สุดขององค์กรของคุณ
ออปติคัล
บริการห้องปฏิบัติการสอบเทียบแสงแสงและไฟเบอร์ออปติกที่ได้รับการรับรอง Micro Precision
เคมี
บริการห้องปฏิบัติการสอบเทียบอุณหพลศาสตร์และเคมีที่ได้รับการรับรองโดย Micro Precision พร้อมความสามารถด้านอุณหภูมิ ความชื้น วิทยาศาสตร์เพื่อชีวิต และเภสัชกรรม
RF - ไมโครเวฟ
บริการห้องปฏิบัติการสอบเทียบ RF และไมโครเวฟที่ได้รับการรับรอง Micro Precision
ไฟฟ้า
บริการห้องปฏิบัติการสอบเทียบทางไฟฟ้าที่ได้รับการรับรองโดย Micro Precision พร้อมมัลติมิเตอร์ เครื่องสอบเทียบมัลติฟังก์ชั่น ออสซิลโลสโคป และความสามารถในการจ่ายไฟ
เครื่องกลและมิติ
บริการห้องปฏิบัติการสอบเทียบเชิงกลและมิติที่ได้รับการรับรองโดย Micro Precision พร้อมความสามารถในการรับน้ำหนักของแรงกด แรงบิด แรง การไหล ความเร็ว และแจ็คเครื่องบิน
