Espesor de obleas de semiconductores y análisis de altura de paso de precisión
Micro Precision utiliza tecnología de punta para realizar análisis de altura de paso y grosor de obleas de semiconductores mediante la incorporación de metodologías acreditadas de perfilado de superficie y elipsometría. Nuestro laboratorio en Richardson, TX está acreditado por ANAB para realizar mediciones acreditadas ISO/IEC 17025-2017.
El espesor de la oblea y el análisis de la altura del paso son componentes críticos utilizados en la industria de los semiconductores.
¿Qué es un elipsómetro?
El elipsómetro espectroscópico de ángulo variable VASE® cuenta con longitud de onda controlada por computadora y selección de ángulo de incidencia. Una lámpara de xenón suministra luz desde el ultravioleta (UV) hasta el infrarrojo cercano (NIR). Las longitudes de onda individuales se seleccionan con un monocromador de doble cámara. Se utiliza un detector apilado de Si/InGaAs de 193nm a 1700nm. El desarrollo reciente de un detector de InGaAs ampliado permite medir hasta 2500 nm. El VASE® utiliza una configuración de elipsómetro analizador giratorio (RAE) con la adición del AutoRetarder™ patentado de JJ Woolam
Definición de elipsometría:
La elipsometría es el uso de luz polarizada para caracterizar películas delgadas y materiales a granel. Se mide un cambio en la polarización después de reflejar la luz desde la superficie. El espesor de película delgada (t) y las constantes ópticas (n, k) se derivan de la medición.
La información se obtiene de cada capa interactuando con la medición. La luz que regresa de la interfaz película-sustrato interfiere con el reflejo de la superficie para proporcionar información sobre la capa.
Capacidades acreditadas de análisis de altura de paso
Perfiladores Stylus y estándares de superficie:
Los perfiladores Stylus son herramientas de medición versátiles para el estudio de la topografía superficial. El perfilador se basa en un lápiz de metal de pequeño diámetro con una punta de diamante o material compuesto que escanea la superficie de la muestra. Durante el escaneo, el lápiz óptico hace contacto directo con la superficie para obtener datos con una precisión y repetibilidad muy altas. La platina del perfilador del palpador mueve la muestra linealmente debajo del palpador para obtener mediciones del perfil de la superficie. A medida que encuentra las características de la superficie, el lápiz óptico se mueve verticalmente para medir las distintas características.
Se han desarrollado nuevos avances en la tecnología de perfiladores de palpadores para geometrías de contracción. Incluyen un sensor de baja inercia para una repetibilidad de altura de paso sin igual. La incorporación de mejoras de software y funciones de nivelación de programas garantizan una medición precisa constante con una incertidumbre mínima.
Calibración de altura de paso de precisión:
La capacidad de medición se configura con el uso de un sistema de perfil de superficie, que junto con los estándares referenciados y trazables del NIST se utilizan para medir el perfil de altura general del escalón.
Dektak 3®
Perfilador de superficie con platina de vacío de muestra de 6,5″, traslación de muestra XY de 3″x6″, platina manual, resolución vertical de 1A, rango vertical máximo de 131um, longitud de escaneo de 50um a 50mm, máximo de 8,000 puntos por escaneo, rango de fuerza de lápiz programable de 1mg-40mg.
Capacidades de altura de escalones y obleas de semiconductores
ANAB acreditado según ISO/IEC 17025-2017 Capacidad acreditada:
- Estándares de espesor de obleas de semiconductores
- Altura de paso de precisión de semiconductores
| Parámetro / Equipo | Rango | Incertidumbre de medida ampliada (+/-) | Acreditado (ISO/IEC 17025, Z540.3) |
|---|---|---|---|
| Grosor de la oblea | (3,0 a 1500)nm | 0,32nm | Elipsómetro y obleas estándar |
| Estándares de altura de paso de precisión | (100 a 1000)A (>1 a 250)kA | 17A | Perfilador de superficie y peldaño estándar |
Otras capacidades
Micro Precision puede realizar servicios de calibración de instrumentos en equipos de una variedad de aplicaciones para industrias y líneas de negocios específicas. Si tiene una necesidad de calibración que no figura en esta área, póngase en contacto con nosotros.
Estándares de laboratorio
Los estándares de laboratorio de calibración son críticos para las mediciones más precisas de su organización.
Óptica
Servicios de laboratorio de calibración óptica, de luz y de fibra óptica acreditados por Micro Precision.
Química
Servicios de laboratorio de calibración termodinámica y química acreditados por Micro Precision con capacidades de temperatura, humedad, ciencias biológicas y farmacéuticas.
RF - Microondas
Servicios de laboratorio de calibración de RF y microondas acreditados por Micro Precision.
Eléctrica
Servicios de laboratorio de calibración eléctrica acreditados por Micro Precision con capacidades de multímetro, calibrador multifunción, osciloscopio y fuente de alimentación.
Mecánico y dimensional
Servicios de laboratorio de calibración mecánica y dimensional acreditados por Micro Precision con capacidades de presión, par, fuerza, flujo, velocidad y carga de gato de aeronave.
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