सेमीकंडक्टर वेफर मोटाई और सटीक कदम ऊंचाई विश्लेषण
माइक्रो प्रेसिजन मान्यता प्राप्त इलिप्सोमेट्री और सतह प्रोफाइलिंग पद्धतियों को शामिल करके सेमीकंडक्टर वेफर मोटाई और चरण ऊंचाई विश्लेषण करने के लिए अत्याधुनिक तकनीक का उपयोग करता है। रिचर्डसन, TX में हमारी प्रयोगशाला ISO/IEC 17025-2017 मान्यता प्राप्त माप करने के लिए ANAB द्वारा मान्यता प्राप्त है।
अर्धचालक उद्योग में उपयोग किए जाने वाले वेफर मोटाई और चरण ऊंचाई विश्लेषण महत्वपूर्ण घटक हैं।
इलिप्सोमीटर क्या है?
VASE® वेरिएबल एंगल स्पेक्ट्रोस्कोपिक इलिप्सोमीटर में कंप्यूटर नियंत्रित वेवलेंथ और एंगल ऑफ इंसिडेंस सेलेक्शन है। एक क्सीनन लैंप पराबैंगनी (यूवी) से निकट अवरक्त (एनआईआर) तक प्रकाश की आपूर्ति करता है। व्यक्तिगत तरंग दैर्ध्य को एक डबल-चेंबर मोनोक्रोमेटर के साथ चुना जाता है। स्टैक्ड Si/InGaAs डिटेक्टर का उपयोग 193nm से 1700nm तक किया जाता है। एक विस्तारित InGaAs डिटेक्टर का हालिया विकास 2500 एनएम तक माप की अनुमति देता है। VASE®, JJ Woolam के पेटेंट AutoRetarder™ के साथ रोटेटिंग एनालाइज़र इलिप्सोमीटर (RAE) कॉन्फ़िगरेशन का उपयोग करता है
इलिप्सोमेट्री को परिभाषित करना:
इलिप्सोमेट्री पतली फिल्म और बल्क सामग्री को चिह्नित करने के लिए ध्रुवीकृत प्रकाश का उपयोग है। सतह से प्रकाश को परावर्तित करने के बाद ध्रुवीकरण में परिवर्तन को मापा जाता है। पतली फिल्म मोटाई (टी) और ऑप्टिकल स्थिरांक (एन, के) माप से प्राप्त होते हैं।
माप के साथ परस्पर क्रिया करने वाली प्रत्येक परत से जानकारी प्राप्त की जाती है। फिल्म-सब्सट्रेट इंटरफ़ेस से लौटने वाला प्रकाश परत की जानकारी प्रदान करने के लिए सतह के प्रतिबिंब में हस्तक्षेप करता है।
मान्यता प्राप्त चरण ऊंचाई विश्लेषण क्षमताएं
स्टाइलस प्रोफाइलर और सतह मानक:
स्टाइलस प्रोफाइलर्स सतह स्थलाकृति के अध्ययन के लिए बहुमुखी माप उपकरण हैं। प्रोफाइलर एक छोटे-व्यास वाले धातु स्टाइलस पर निर्भर करता है जिसमें हीरे या समग्र सामग्री टिप होती है जो नमूने की सतह को स्कैन करती है। स्कैन के दौरान, स्टायलस सतह के साथ सीधा संपर्क बनाता है ताकि बहुत उच्च सटीकता और दोहराव के साथ डेटा प्राप्त किया जा सके। स्टाइलस प्रोफाइलर चरण सतह प्रोफाइल के माप प्राप्त करने के लिए स्टाइलस के नीचे नमूना को रैखिक रूप से ले जाता है। जैसा कि यह सतह की विशेषताओं का सामना करता है, स्टाइलस विभिन्न विशेषताओं को मापने के लिए लंबवत चलता है।
सिकुड़ती ज्यामिति के लिए स्टाइलस प्रोफाइलर तकनीक में नई प्रगति विकसित की गई है। उनमें अद्वितीय कदम ऊंचाई दोहराव के लिए एक कम जड़ता संवेदक शामिल है। सॉफ्टवेयर एन्हांसमेंट और प्रोग्राम लेवलिंग फ़ंक्शंस का समावेश न्यूनतम अनिश्चितता के साथ लगातार सटीक माप सुनिश्चित करता है।
परिशुद्धता चरण ऊंचाई अंशांकन:
माप क्षमता एक सतह प्रोफ़ाइल प्रणाली के उपयोग के साथ स्थापित की जाती है, जो एनआईएसटी संदर्भित और ट्रेस करने योग्य मानकों के संयोजन के साथ समग्र चरण ऊंचाई प्रोफ़ाइल को मापने के लिए उपयोग की जाती है।
देवतक 3®
6.5″ सैंपल वैक्यूम स्टेज के साथ सरफेस प्रोफाइलर, 3″x6″ XY सैंपल ट्रांसलेशन, मैनुअल स्टेज, 1A वर्टिकल रिजॉल्यूशन, 131um मैक्सिमम वर्टिकल रेंज, 50um से 50mm स्कैन लेंथ, मैक्सिमम 8,000 पॉइंट्स प्रति स्कैन, 1mg-40mg प्रोग्रामेबल स्टाइलस फोर्स रेंज।
सेमीकंडक्टर वेफर और स्टेप हाइट क्षमताएं
ANAB को ISO/IEC 17025-2017 मान्यता प्राप्त क्षमता से मान्यता प्राप्त है:
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| पैरामीटर / उपकरण | श्रेणी | माप की विस्तारित अनिश्चितता (+/-) | मान्यता प्राप्त (ISO/IEC 17025, Z540.3) |
|---|---|---|---|
| वेफर की मोटाई | (3.0 से 1500) एनएम | 0.32nm | एलीप्सोमीटर और स्टैंडर्ड वेफर्स |
| परिशुद्धता चरण ऊंचाई मानक | (100 से 1000)A (>1 से 250)kA | 17ए | सरफेस प्रोफाइलर और स्टैंडर्ड स्टेप |
अन्य क्षमताएं
माइक्रो प्रेसिजन विशिष्ट उद्योगों और व्यापार की लाइनों के लिए विभिन्न प्रकार के अनुप्रयोगों से उपकरण पर उपकरण अंशांकन सेवाएं कर सकता है। अगर आपको अंशांकन की आवश्यकता है जो इस क्षेत्र में सूचीबद्ध नहीं है, तो कृपया हमसे संपर्क करें।
प्रयोगशाला मानक
आपके संगठन के सबसे सटीक मापन के लिए अंशांकन प्रयोगशाला मानक महत्वपूर्ण हैं।
ऑप्टिकल
माइक्रो प्रिसिजन मान्यता प्राप्त ऑप्टिकल, लाइट और फाइबर ऑप्टिक कैलिब्रेशन लैब सेवाएं।
रासायनिक
माइक्रो प्रेसिजन मान्यता प्राप्त थर्मोडायनामिक और amp; तापमान, आर्द्रता, जीवन विज्ञान और फार्मा क्षमताओं के साथ रासायनिक अंशांकन प्रयोगशाला सेवाएं।
आरएफ - माइक्रोवेव
माइक्रो प्रेसिजन मान्यता प्राप्त आरएफ और माइक्रोवेव अंशांकन प्रयोगशाला सेवाएं।
विद्युतीय
मल्टीमीटर, मल्टीफंक्शन कैलिब्रेटर, ऑसिलोस्कोप, और बिजली आपूर्ति क्षमताओं के साथ माइक्रो प्रेसिजन मान्यता प्राप्त विद्युत अंशांकन प्रयोगशाला सेवाएं।
यांत्रिक और आयामी
दबाव, टॉर्क, बल, प्रवाह, वेग और विमान जैक लोड क्षमताओं के साथ माइक्रो प्रिसिजन मान्यता प्राप्त यांत्रिक और आयामी अंशांकन प्रयोगशाला सेवाएं।
