Halbleiterwaferdicke und Präzisionsschritthöhenanalyse

Micro Precision verwendet modernste Technologie zur Durchführung von Halbleiterwaferdicken- und Stufenhöhenanalysen unter Verwendung akkreditierter Ellipsometrie- und Oberflächenprofilierungsmethoden. Unser Labor in Richardson, TX, ist von ANAB für die Durchführung von ISO / IEC 17025-2017-akkreditierten Messungen akkreditiert.

Die Analyse der Waferdicke und der Stufenhöhe sind wichtige Komponenten in der Halbleiterindustrie.

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Was ist ein Ellipsometer?

Das VASE®-Spektroskopie-Ellipsometer mit variablem Winkel bietet eine computergesteuerte Auswahl der Wellenlänge und des Einfallswinkels. Eine Xenonlampe liefert Licht vom ultravioletten (UV) zum nahen Infrarot (NIR). Einzelne Wellenlängen werden mit einem Doppelkammer-Monochromator ausgewählt. Ein gestapelter Si / InGaAs-Detektor wird von 193 nm bis 1700 nm verwendet. Die jüngste Entwicklung eines erweiterten InGaAs-Detektors ermöglicht die Messung auf 2500 nm. Der VASE® verwendet eine RAE-Konfiguration (Rotating Analyzer Ellipsometer) mit JJ Woolams patentiertem AutoRetarder ™

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Akkreditierte Funktionen zur Analyse der Stufenhöhe

Stiftprofiler und Oberflächenstandards:

Stylus-Profiler sind vielseitige Messinstrumente zur Untersuchung der Oberflächentopographie. Der Profiler verwendet einen Metallstift mit kleinem Durchmesser und einer Spitze aus Diamant oder Verbundmaterial, die die Oberfläche der Probe abtastet. Während des Scans nimmt der Stift direkten Kontakt mit der Oberfläche auf, um Daten mit sehr hoher Präzision und Wiederholbarkeit zu erhalten. Die Stiftprofiler-Stufe bewegt die Probe linear unter dem Stift, um Messungen des Oberflächenprofils zu erhalten. Beim Auftreffen auf Oberflächenmerkmale bewegt sich der Stift vertikal, um die verschiedenen Merkmale zu messen.

Für das Schrumpfen von Geometrien wurden neue Fortschritte in der Stiftprofilertechnologie entwickelt. Sie enthält einen Sensor für geringe Trägheit für eine beispiellose Wiederholbarkeit der Stufenhöhe. Die Integration von Software-Erweiterungen und Programm-Leveling-Funktionen gewährleistet eine konsistente genaue Messung mit minimaler Unsicherheit.

Präzisionsschritthöhenkalibrierung:

Die Messfähigkeit wird unter Verwendung eines Oberflächenprofilsystems eingerichtet, das in Verbindung mit NIST referenzierten und rückverfolgbaren Standards zur Messung des gesamten Stufenhöhenprofils verwendet wird.

Dektak 3®

Oberflächenprofiler mit 6,5 „Probenvakuumtisch, 3“ x 6 „XY-Probenübersetzung, manueller Tisch, 1A vertikale Auflösung, maximal 131um vertikaler Bereich, 50um bis 50mm Scanlänge, maximal 8.000 Punkte pro Scan, programmierbarer Stiftkraftbereich von 1mg-40mg.

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Funktionen für Halbleiterwafer und Stufenhöhe

ANAB-akkreditiert nach ISO / IEC 17025-2017:

  • Halbleiter-Waferdickenstandards
  • Halbleiter-Präzisionsschritthöhe
Parameter / Ausrüstung Angebot Erweiterte Messunsicherheit (+/-) Akkreditiert (ISO / IEC 17025, Z540.3))
Waferdicke (3.0 to 1500)nm 0.32nm Ellipsometer und Standardwafer
Präzisions-Stufenhöhenstandards (100 to 1000)A (>1 to 250)kA 17A Oberflächenprofiler und Standardschritt

Sonstige Funktionen

Micro Precision kann Instrumentenkalibrierungsdienste an Geräten aus verschiedenen Anwendungen für bestimmte Branchen und Geschäftsbereiche durchführen. Wenn Sie einen Kalibrierungsbedarf haben, der nicht in diesem Bereich aufgeführt ist, kontaktieren Sie uns bitte.

Kalibrierungslaborstandards

Kalibrierlaborstandards sind entscheidend für die genauesten Messungen Ihres Unternehmens.

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Optisch

Von Micro Precision akkreditierte Laborservices für optische, Licht- und Glasfaserkalibrierung.

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Chemisch

Von Micro Precision akkreditierte Labordienstleistungen für thermodynamische und chemische Kalibrierung mit Temperatur-, Feuchtigkeits-, Lebens- und Pharmafähigkeiten.

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RF - Mikrowelle

Von Micro Precision akkreditierte Laborservices für HF- und Mikrowellenkalibrierung.

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Elektrisch

Von Micro Precision akkreditierte Laborservices für elektrische Kalibrierung mit Multimeter-, Multifunktionskalibrator-, Oszilloskop- und Stromversorgungsfunktionen.

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Mechanik & Dimensional

Von Micro Precision akkreditierte Laborservices für mechanische und dimensionale Kalibrierung mit Druck-, Drehmoment-, Kraft-, Durchfluss-, Geschwindigkeits- und Flugzeugheberfähigkeiten.

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