Halbleiterwaferdicke und Präzisionsstufen Analyse
Micro Precision nutzt modernste Technologie zur Analyse der Dicke und Stufenhöhe von Halbleiterwafern, indem es akkreditierte Ellipsometrie und Methoden zur Oberflächenprofilierung einsetzt. Unser Labor in Richardson, Texas, ist von der ANAB akkreditiert, um nach ISO/IEC 17025-2017 accredited Messungen durchzuführen.
Waferdicken- und Stufenhöhenanalysen sind kritische Komponenten, die in der Halbleiterindustrie verwendet werden.
Was ist ein Ellipsometer?
Das spektroskopische Ellipsometer VASE® mit variablem Winkel verfügt über eine computergesteuerte Auswahl von Wellenlängen und Einfallswinkeln. Eine Xenon-Lampe liefert Licht vom Ultraviolett (UV) bis zum nahen Infrarot (NIR). Die einzelnen Wellenlängen werden mit einem Zweikammer-Monochromator ausgewählt. Ein gestapelter Si/InGaAs-Detektor wird von 193nm bis 1700nm verwendet. Die jüngste Entwicklung eines erweiterten InGaAs-Detektors ermöglicht Messungen bis 2500nm. Das VASE® arbeitet mit einem rotierenden Analysator-Ellipsometer (RAE), das zusätzlich mit dem patentierten AutoRetarder™ von JJ Woolam ausgestattet ist.
Definition der Ellipsometrie:
Ellipsometrie ist die Verwendung von polarisiertem Licht zur Charakterisierung von dünnen Schichten und massiven Materialien. Die Veränderung der Polarisation wird nach der Reflexion des Lichts an der Oberfläche gemessen. Die Dünnschichtdicke (t) und die optischen Konstanten (n, k) werden aus der Messung abgeleitet.
Die Informationen werden von jeder Schicht gewonnen, die mit der Messung interagiert. Das von der Grenzschichten zurückkehrende Licht interferiert mit der Oberflächenreflexion und liefert Informationen über die Schichten.
Akkreditierte Möglichkeiten der Stufenhöhenanalyse
Tastschnittgeräte und Oberflächennormale:
Tastschnittgeräte sind vielseitige Messinstrumente für die Untersuchung der Oberflächentopografie. Das Gerät arbeitet mit einem Metalltaster mit kleinem Durchmesser und einer Spitze aus Diamant oder Verbundmaterial, der die Oberfläche der Probe abtastet. Während der Abtastung kommt die Tastspitze in direkten Kontakt mit der Oberfläche, wodurch Daten mit sehr hoher Präzision und Wiederholbarkeit gewonnen werden. Der Probentisch bewegt die Probe linear unter dem Tastereinsatz, um Messungen des Oberflächenprofils zu erhalten. Wenn er auf Oberflächenmerkmale trifft, bewegt sich die Messspitze vertikal, um die verschiedenen Merkmale zu messen.
Neue Fortschritte in der Messspitze-Technologie wurden für immer kleiner werdende Geometrien entwickelt. Dazu gehört ein Sensor mit geringer Trägheit für eine beispiellose Wiederholbarkeit der Stufenhöhe. Die Integration von Softwareverbesserungen und Programmausgleichsfunktionen gewährleisten eine gleichbleibend genaue Messung mit minimaler Messungenauigkeit.
Präzise Kalibrierung der Stufenhöhe:
Die Messfähigkeit wird durch den Einsatz eines Oberflächenprofilsystems gewährleistet, welches in Verbindung mit NIST-referenzierten und nachvollziehbaren Standards zur Messung des gesamten Stufenhöhenprofils verwendet wird.
Dektak 3®
Oberflächenprofilierungsgerät mit einem 16,51 cm Probenvakuumtisch; 7,62 cm x 15,24 cm – XY – Probenverschiebung, manuellem Tisch, 1A vertikale Auflösung, maximaler vertikaler Bereich von 131 um, 50 um bis 50 mm Scanlänge, maximal 8.000 Punkte pro Scan, programmierbarer Nadelkraftbereich von 1mg-40mg.
Halbleiterwafer & Stufenhöhe Möglichkeiten
Von der ANAB akkreditiert nach ISO/IEC 17025-2017 Accredited capability:
- Normen für Halbleiterwaferdicken
- Halbleiter Präzisionsstufenhöhe
| Eigenschaften / Gerät | Range | Expanded Uncertainty of Measurement (+/-) | Accredited (ISO/IEC 17025, Z540.3) |
|---|---|---|---|
| Waferdicke | (3.0 bis 1500)nm | 0.32nm | Ellipsometer und Wafernormen |
| Normen Präzisonsstufenhöhe | (100 bis 1000)A (>1 bis 250)kA | 17A | Oberflächenprofilierung und Stufenhöhennormen |
Andere Möglichkeiten
Micro Precision kann Instrumentenkalibrierungsdienste für Geräte aus einer Vielzahl von Anwendungen aus diversen Branchen und Industrien durchführen. Wenn Sie einen Kalibrierungsbedarf haben, der hier nicht aufgeführt ist, kontaktieren Sie uns.
Labornormen
Normen im Kalibrierungslabor sind entscheidend für präzise Messungen in Ihrem Unternehmen.
Optik
Micro Precision ist ein akkreditiertes Kalibrierungslabor für Optik, Licht und Faseroptik.
Chemie
Micro Precision ist ein akkreditiertes Labor für thermodynamische und chemische Kalibrierungen in den Bereichen Temperatur, Feuchte, Biotechnologie und Pharmazie.
RF - Mikrowellen
Micro Precision akkreditiertes RF- und Mikrowellenkalibrierungslabor.
Elektisch
Micro Precision bietet akkreditierte Kalibrierungsdienste für elektrische Geräte mit Multimetern, Multifunktionskalibratoren, Oszilloskopen und Netzteilen an.
Mechanisch & dimensionell
Das akkreditierte Labor für mechanische und dimensionelle Kalibrierungen von Micro Precision ist in der Lage, Druck, Drehmoment, Kraft, Durchfluss, Geschwindigkeit und Flugzeugheberlasten zu messen.
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