Analiza Grosimii Plachetelor de Semiconductori și a Înălțimii de Treaptă de Precizie

Micro Precision folosește tehnologie de ultimă generație pentru a efectua analiza grosimii plachetelor de semiconductori și a înălțimii de treaptă, prin încorporarea metodelor acreditate de elipsometrie și de profilare a suprafeței. Laboratorul nostru din Richardson, TX este acreditat de ANAB pentru a efectua măsurători acreditate conform standardului ISO/IEC 17025-2017.

Analiza grosimii plachetelor și a înălțimii de treaptă sunt componente esențiale utilizate în industria semiconductorilor.

Laser measuring semiconductor wafer thickness

Ce este un elipsometru?

Elipsometrul spectroscopic cu unghi variabil VASE® dispune de o selecție a lungimii de undă și a unghiului de incidență controlată de computer. O lampă cu Xenon furnizează lumină de la ultraviolet (UV) la infraroșu apropiat (NIR). Lungimile de undă individuale sunt selectate cu un monocromator cu cameră dublă. Un detector suprapus Si/InGaAs este utilizat de la 193nm la 1700nm. Dezvoltarea recentă a unui detector InGaAs extins permite măsurători până la 2500nm. VASE® utilizează o configurație de elipsometru cu analizor rotativ (RAE), cu adăugarea tehnologiei patentate de JJ Woolam, AutoRetarder™.

Cere o Ofertă

Definiția Elipsometriei

Elipsometria este utilizarea luminii polarizate pentru a caracteriza peliculele subțiri și materialele brute. Se măsoară o modificare a polarizării după reflectarea luminii de pe suprafață. Grosimea peliculei subțiri (t) și constantele optice (n, k) sunt derivate din această măsurătoare.

Informațiile sunt obținute din fiecare strat care interacționează cu fasciculul de măsurare. Lumina care se întoarce de la interfața peliculă-substrat interferează cu reflexia de la suprafață pentru a oferi informații despre straturi.

Diagram of formula used to calculate wafer thickness

A known input polarization is reflected off the wafer sample and the output polarization is measured for difference

Capabilități Acreditate pentru Analiza Înălțimii de Treaptă

Profilometre cu palpator și etaloane de suprafață:

Profilometrele cu palpator sunt instrumente de măsură versatile pentru studiul topografiei suprafeței. Profilometrul se bazează pe un palpator metalic cu diametru redus și un vârf din diamant sau material compozit, care scanează suprafața probei. În timpul scanării, palpatorul intră în contact direct cu suprafața pentru a obține date cu precizie și repetabilitate foarte înalte. Suportul profilometrului deplasează proba liniar sub palpator pentru a obține măsurători ale profilului suprafeței. Pe măsură ce întâlnește diverse trăsături ale suprafeței, palpatorul se deplasează vertical pentru a le măsura.

Noile progrese în tehnologia profilometrelor cu palpator au fost dezvoltate pentru geometrii din ce în ce mai mici. Acestea includ un Senzor cu Inerție Redusă pentru o repetabilitate fără egal a măsurătorilor înălțimii de treaptă. Încorporarea îmbunătățirilor software și a funcțiilor de nivelare programată asigură măsurători consecvente și precise, cu o incertitudine minimă.

Calibrarea de precizie a înălțimii de treaptă:

Capacitatea de măsurare este realizată cu ajutorul unui sistem de profilare a suprafeței, care, împreună cu etaloane de referință trasabile la NIST, este utilizat pentru a măsura profilul general al înălțimii de treaptă.

Dektak 3®

Profilometru de suprafață cu suport cu vacuum pentru probe de 6.5″, translație XY a probei pe 3″x6″, control manual al suportului, rezoluție verticală de 1Å, domeniu vertical maxim de 131μm, lungime de scanare de la 50μm la 50mm, maxim 8.000 de puncte pe scanare, forță programabilă a palpatorului între 1mg și 40mg.

Cere o Ofertă

Capabilități pentru Plachete de Semiconductori și Înălțimi de Treaptă

Capabilități acreditate ANAB conform ISO/IEC 17025-2017:

Etaloane pentru Grosimea Plachetelor de Semiconductori
Înălțime de Treaptă de Precizie pentru Semiconductori

Parametru / Echipament	Gamă	Incertitudine Extinsă de Măsurare (+/-)	Acreditat (ISO/IEC 17025, Z540.3)
Grosimea Plachetei	(3.0 până la 1500) nm	0.32nm	Elipsometru și Plachete Etalon
Etaloane de Înălțime de Treaptă de Precizie	(100 până la 1000) Å (>1 până la 250) kÅ	17 Å	Profilometru de Suprafață și Treaptă Etalon

Alte Capabilități

Micro Precision poate efectua servicii de calibrare pentru echipamente dintr-o varietate de aplicații, pentru industrii și domenii de activitate specifice. Dacă aveți o necesitate de calibrare care nu este listată aici, vă rugăm să ne contactați.

Standarde de Laborator

Standardele laboratorului de calibrare sunt esențiale pentru a obține cele mai precise măsurători în cadrul organizației dumneavoastră.

Despre Standardele de Laborator

Optice

Micro Precision oferă servicii acreditate de calibrare în laborator pentru optică, lumină și fibră optică.

Despre Calibrarea Optică

Chimice

Micro Precision oferă servicii acreditate de calibrare termodinamică și chimică, cu capabilități pentru temperatură, umiditate, științele vieții (life science) și domeniul farmaceutic.

Despre Calibrarea Chimică

RF – Microunde

Micro Precision oferă servicii acreditate de calibrare în laborator pentru echipamente de radiofrecvență (RF) și microunde.

Despre RF și Microunde

Electrice

Micro Precision oferă servicii acreditate de calibrare electrică, cu capabilități pentru multimetre, calibratoare multifuncționale, osciloscoape și surse de alimentare.

Despre Calibrarea Electrică

Mecanice și Dimensionale

Micro Precision oferă servicii acreditate de calibrare mecanică și dimensională, cu capabilități pentru presiune, cuplu, forță, debit, viteză și sarcina cricurilor de avion.

Despre Calibrarea Mecanică și Dimensională

Request A Quote

"*" indicates required fields

Comments

This field is for validation purposes and should be left unchanged.

First Name*

Last Name*

Email Address*

Phone*

Company*

Address*

Service Type*